«НаноСкан-4D»

Сканирующий нанотвердомер

Сканирующий зондовый микроскоп «НаноСкан-3D»

В основе модельного ряда приборов семейства «НаноСкан» лежит модульный принцип. Ключевым элементом каждой измерительной платформы является базовый измерительный модуль: для приборов серии «4D» — это модуль индентирования, для приборов серии «3D» — это универсальный модуль нано-механических испытаний.

Базовый модуль приборов серии «НаноСкан-3D» реализует ряд методов измерения механических свойств, а также обладает возможностью сканирования поверхности. В то же время верхний диапазон перемещений для данного модуля ограничен 10 мкм, а максимальное усилие составляет 100 мН.

Базовый модуль приборов серии «НаноСкан-4D» позволяет производить индентирование в соответствии с рекомендациями стандартов ISO 14577 и ГОСТ Р 8.748-2011 в широком диапазоне нагрузок и перемещений.

Базовый вариант позволяет производить индентирование с глубинами до 300 мкм и нагрузкой до 1Н. При необходимости, в соответствии с потребностями пользователя, максимальные диапазоны могут быть расширены до 2Н и 1 мм.

В зависимости от размера выбранной платформы прибор может содержать один, два или три измерительных модуля.

В качестве дополнительных модулей к базовому могут использоваться оптический микроскоп или модуль АСМ. В зависимости от серии прибора, на него могут устанавливаться дополнительные узлы, такие как датчик латеральной нагрузки, нагревательный предметный столик и другие.

Прибор серии «НаноСкан-3D» может быть оснащен трехкоординатным гетеродинным интерферометром.

Полнофункциональная измерительная система, реализующая все возможные методы исследования физико-механических свойств. Наличие модуля атомно-силового микроскопа позволяет исследовать с нанометровым пространственным разрешением рельеф поверхности, а также остаточные отпечатки после выполнения измерений механических свойств. В нанотвердомере реализованы автоматизированные процедуры выполнения серий экспериментов, а также возможности пакетной обработки большого объема экспериментальных данных.

Метрологический сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с гетеродинным лазерным интерферометром. Данный измерительный комплекс предназначен для использования в качестве рабочего эталона для измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне, что позволяет обеспечивать прослеживаемость измерений линейных размеров наноструктур методами сканирующей зондовой микроскопии. Основное назначение — определение метрологических характеристик других сканирующих зондовых микроскопов и обеспечение достоверности измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне в различных технологических сферах, а также в задачах сертификации и контроля продукции наноиндустрии.

NANOSCAN-HV — первый отечественный автоматизированный микротвердомер, позволяющий проводить измерения микротвердости по Виккерсу. Сертифицирован и допущен к применению в сфере обеспечения единства измерений. В приборе реализованы алгоритмы автоматического нанесения массивов индентов и измерения границ отпечатков, позволяющие проводить различные измерения согласно требованиям пользователя, а также определять глубины поверхностной закалки (SHD, Surface Hardening Depth), цементации (CHD, Case Hardening Depth) и другие характеристики.

Настольный прибор для исследования рельефа и механических свойств небольших образцов комплексом методов сканирующей зондовой микроскопии, инструментального индентирования и склерометрии в диапазоне нагрузок до 50 мН. На основе данной модели разработан курс лабораторных и методических работ по изучению основ выполнения измерений физико-механических свойств на сумбикрометровом и нанометровом масштабе линейных размеров.

Сканирующий зондовый микроскоп комплексного исследования в диапазоне нагрузок до 50 мН. Прибор оснащен оптическим микроскопом и моторизованным предметным столиком для позиционирования объекта исследования. Получение изображения рельефа поверхности и проведение механических испытаний проводится одним наконечником в одном измерительном цикле. Высокая степень автоматизации измерений позволяет существенно повысить производительность исследований.

Настольный прибор для экспресс-диагностики твердости и модуля упругости (Юнга) материалов методом инструментального индентирования в диапазоне нагрузок до 2 Н. Данная модель идеально подходит для обучения основам выполнения измерений механических свойств. На основе данной модели разработан курс лабораторных работ, адаптируемый под 8-12 академических часов.

Базовая модель нанотвердомера, реализующая основные методики измерения твердости, модуля упругости (Юнга) и ряда других механических параметров. В нанотвердомере реализованы методы статического индентирования, динамического индентирования и царапания. Возможно измерение рельефа поверхности в режиме контактного или полуконтактного профилометра. Наличие оптического микроскопа обеспечивает высокую точность взаимного позиционирования индентора и объекта исследований. Для данной модели доступны дополнительные узлы и датчики.