Сканирующие нанотвердомеры
«НаноСкан» позволяют получать изображения трехмерного рельефа поверхности методом сканирующей зондовой микроскопии. Сканирование производится в полуконтактном режиме алмазным индентором, закрепленным на пьезокерамическом зонде. Зонд совершает резонансные колебания на частоте F ~10 кГц и с амплитудой A < 50 нм. В процессе сканирования поддерживается постоянной частота F или амплитуда A колебаний.
Колебательный режим работы зонда позволяет получать кроме изображения рельефа дополнительную информацию о структуре и механических свойствах исследуемых образцов. В процессе сканирования одновременно с высотой рельефа записывается изменение свободного параметра колебаний зонда (при сканировании с постоянной частотой F свободный параметр- амплитуда A, и наоборот).