Сканирующие нанотвердомеры семейства «НаноСкан» предназначены для исследования рельефа и структуры поверхностей, а также измерения механических и трибологических свойств объёмных материалов и тонких пленок на субмикронном и нанометровом масштабах линейных размеров.


Области применений cканирующих нанотвердомеров «НаноСкан»

Уникальные технологии измерений, реализованные в приборах семейства «НаноСкан», позволяют использовать данное оборудование для исследования беспрецедентно широкого круга объектов. Сегодня приборы семейства «НаноСкан» применяются для измерений механических свойств и контроля качества поверхностей по следующим направлениям:
Сканирующий зондовый микроскоп-нанотвердомер НаноСкан

  • Нанофазные и композитные материалы;
  • Ультрадисперсные твердые сплавы;
  • Новые сверхтвердые материалы;
  • Наноконструкционные материалы;
  • Полупроводниковые технологии;
  • Автомобильная промышленность;
  • Инженерные приложения;
  • Медицинские приложения;
  • Алмазы и алмазные порошки;
  • Устройства хранения информации;
  • Микро- и наноэлектромеханические
    системы (МЭМС и НЭМС);
  • Тонкие пленки;
  • Покрытия для снижения износа.

Разработан метод построения томограммы твёрдости и модуля упругости приповерхностного слоя образца

В традиционном методе индентирования (ISO 14577) определяются механические свойства материала в одной области на одной глубине.

В сканирующих зондовых микроскопах-нанотвердомерах серии «НаноСкан» реализован метод многоциклового нагружения с частичной разгрузкой (partial unload technique), позволяющий проводить измерения механических свойств на разных глубинах за одно вдавливание индентора в поверхность образца.


В данном методе разгрузка производится до определенной доли от величины максимального нагружения, на каждом следующем цикле происходит повторное нагружение на большую величину.

В зондовых микроскопах серии «НаноСкан» реализован метод построения томограммы твёрдости и модуля упругости приповерхностного слоя образца. Метод основан на сочетании двух методов: метода многоциклового нагружения и метода картирования (нанесение серии индентов в квадратной сетке), что позволяет получать распределение механических свойств материала в объёме (томограмму).

Томограмма может быть построена по поверхности образца размером до 10 см и на глубину до 10 мкм. Разрешение зондового микроскопа позволяет начинать измерение механических свойств с глубин в несколько десятков нанометров. Латеральное разрешение определяется размером пластических отпечатков остающихся после испытания нагружением и составляет порядка десятков микрон.
Читать далее