Отображение рельефа поверхности с помощью твердомера «НаноСкан»

3d-изображение рельефа поверхности поликристаллического SiC

Сканирующие твердомеры серии «НаноСкан» позволяют получать изображения трехмерного рельефа поверхности методом сканирующей зондовой микроскопии. Сканирование производится в полуконтактном режиме алмазным индентором, закрепленным на пьезокерамическом зонде. Зонд совершает резонансные колебания на частоте F ~10 кГц и с амплитудой A < 50 нм. В процессе сканирования поддерживается постоянной частота F или амплитуда A колебаний.

В режиме сканирования по частоте обеспечивается постоянная жесткость области контакта индентора с поверхностью. В этом режиме рекомендуется исследовать материалы с относительно высокими значениями твердости и модуля упругости (металлы и сплавы, кристаллические материалы, керамики). При этом исключается или существенно уменьшается влияние присутствия загрязнения на поверхности образца. В режиме сканирования по амплитуде A поддерживается постоянным характер вязкого контакта зонда с поверхностью, что позволяет изучать мягкие материалы (полимеры, пластики).

Размер максимального окна сканирования составляет 100 х100 х10 мкм.

Фактическое разрешение, достигаемое при сканировании, ограничивается радиусом пятна контакта индентора с поверхностью и составляет порядка 10 нм в плоскости XY и не хуже 1 нм по оси Z, что типично для сканирующих силовых микроскопов, работающих на воздухе.