Измерение жесткости балок и мембран

Для контроля жесткости балок и мембран на сканирующем нанотвердомере «НаноСкан-4D» используется режим измерения зависимостей нагружения – перемещения, аналогичный методу измерительного индентирования.* Реализован также режим многократного нагружения объекта индентором. В результате такого испытания возможно определить жесткость (податливость) мембраны или балки, максимальный прогиб мембраны, число циклов нагружения до разрушения.

Для точного позиционирования места нагружения в «НаноСкан-4D» применяется цифровой оптический микроскоп высокого разрешения а также режим предварительного сканирования поверхности объекта перед измерениями.

Области применения: МЭМС, НЭМС
*Измерение твердости методом измерительного индентирования по ISO14577

Схема измерения свойств мембраны.

Кривая нагружения/разгрузки: жесткость и прогиб мембраны (а), упирание мембраны в подложку (б).