Назначение:
Данный модуль предназначен для комплексного исследования механических свойств в диапазоне нагрузок до 100 мН методами индентирования и склерометрии, а также для исследования рельефа поверхности в режиме полуконтактной сканирующей зондовой микроскопии.

Режимы и методики:

• построение рельефа поверхности в контактном динамическом режиме сканирования;
• индентирование и царапание с заданной нагрузкой/на заданную глубину;
• измерение твердости методом склерометрии;
• измерение твердости по изображению восстановленного отпечатка;
• измерение механических свойств методом измерительного индентирования (в соответствии с ГОСТ Р 8.748-2011 и ISO 14577);
• измерение модуля упругости методом силовой спектроскопии;
• измерение механических свойств материалов и тонких пленок (твердость, адгезия, толщина пленок) методом склерометрии с переменной нагрузкой;
• измерение износостойкости тонких пленок;
• измерение профилограммы поверхности.

Технические характеристики:

• диапазон измерений по осям Х и Y, не менее: 100 мкм;
• разрешение по XY: 2 нм;
• диапазон измерений по оси Z, не менее: 10 мкм;
• разрешение по Z: 0.2 нм;
• максимальная нагрузка на индентор: 100 мН;
• предельное разрешение по нагрузке: 0.5 мкН.