Назначение:Данный модуль предназначен для комплексного исследования механических свойств в диапазоне нагрузок до 100 мН методами индентирования и склерометрии, а также для исследования рельефа поверхности в режиме полуконтактной сканирующей зондовой микроскопии.
Режимы и методики:- построение рельефа поверхности в контактном динамическом режиме сканирования;
- индентирование и царапание с заданной нагрузкой/на заданную глубину;
- измерение твердости методом склерометрии;
- измерение твердости по изображению восстановленного отпечатка;
- измерение механических свойств методом измерительного индентирования (в соответствии с ГОСТ Р 8.748-2011 и ISO 14577);
- измерение модуля упругости методом силовой спектроскопии;
- измерение механических свойств материалов и тонких пленок (твердость, адгезия, толщина пленок) методом склерометрии с переменной нагрузкой;
- измерение износостойкости тонких пленок;
- измерение профилограммы поверхности.
Технические характеристики:- диапазон измерений по осям Х и Y, не менее: 100 мкм;
- разрешение по XY: 2 нм;
- диапазон измерений по оси Z, не менее: 10 мкм;
- разрешение по Z: 0.2 нм;
- максимальная нагрузка на индентор: 100 мН;
- предельное разрешение по нагрузке: 0.5 мкН.