НаноСкан-3д
Свидетельство о присвоении знака качества
Свидетельство о присвоении типа средств измерений

Назначение:

Данный модуль предназначен для комплексного исследования механических свойств в диапазоне нагрузок до 100 мН методами индентирования и склерометрии, а также для исследования рельефа поверхности в режиме полуконтактной сканирующей зондовой микроскопии.

Режимы и методики:

  • построение рельефа поверхности в контактном динамическом режиме сканирования;
  • индентирование и царапание с заданной нагрузкой/на заданную глубину;
  • измерение твердости методом склерометрии;
  • измерение твердости по изображению восстановленного отпечатка;
  • измерение механических свойств методом измерительного индентирования (в соответствии с ГОСТ Р 8.748-2011 и ISO 14577);
  • измерение модуля упругости методом силовой спектроскопии;
  • измерение механических свойств материалов и тонких пленок (твердость, адгезия, толщина пленок) методом склерометрии с переменной нагрузкой;
  • измерение износостойкости тонких пленок;
  • измерение профилограммы поверхности.

Технические характеристики:

  • диапазон измерений по осям Х и Y, не менее: 100 мкм;
  • разрешение по XY: 2 нм;
  • диапазон измерений по оси Z, не менее: 10 мкм;
  • разрешение по Z: 0.2 нм;
  • максимальная нагрузка на индентор: 100 мН;
  • предельное разрешение по нагрузке: 0.5 мкН.