Измерительный модуль: 3-х-координатный лазерный
гетеродинный интерферометр

Назначение:
Модуль интерферометра разработан как компактная встраиваемая система для измерений в реальном времени. Источником излучения служит одночастотный стабилизированный He-Ne–лазер мощностью 1 мВт (длина волны = 632,991084 нм, относительная нестабильность оптической частоты за 8 час работы не более 3.10-9).
Основное назначение — определение метрологических характеристик других сканирующих зондовых микроскопов, обеспечение достоверности измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне в различных технологических сферах, а также в задачах сертификации и контроля продукции наноиндустрии.
Режимы и методики:
  • аппаратная и программная совместимость с универсальным измерительным модулем «НаноСкан-3D»;
  • аппаратная и программная совместимость с модулем атомно-силового микроскопа «НаноСкан-4D»;
  • построение рельефа поверхности путем сканирования в режимах сканирующей зондовой и атомно-силовой микроскопии.
Технические характеристики:
  • предельный диапазон измерений по осям XYZ: 500 мкм;
  • разрешение по всем трем осям (не хуже): 0,01 нм;
  • уровень собственных шумов интерферометра, СКО в полосе частот от 1 Гц до 1 кГц (не более):1 нм;
  • неортогональность осей измерения перемещений: 0,01 радиана;
  • диапазон измеряемых сдвигов фаз: ±1×104 радиан;
  • разрешение системы измерения сдвига фазы:10-4 радиан;
  • временное разрешение измерений:1 мс;
  • максимальная скорость сканирования:100 мкм/сек;
  • тепловыделение в рабочей области (не более) 5 Вт.