Измерительный модуль: 3-х-координатный лазерный
гетеродинный интерферометр

Назначение:
Модуль интерферометра разработан как компактная встраиваемая система для измерений в реальном времени. Источником излучения служит одночастотный стабилизированный He-Ne–лазер мощностью 1 мВт (длина волны = 632,991084 нм, относительная нестабильность оптической частоты за 8 час работы не более 3.10-9).
Основное назначение — определение метрологических характеристик других сканирующих зондовых микроскопов, обеспечение достоверности измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне в различных технологических сферах, а также в задачах сертификации и контроля продукции наноиндустрии.
Режимы и методики:

• аппаратная и программная совместимость с универсальным измерительным модулем «НаноСкан-3D»;
• аппаратная и программная совместимость с модулем атомно-силового микроскопа «НаноСкан-4D»;
• построение рельефа поверхности путем сканирования в режимах сканирующей зондовой и атомно-силовой микроскопии.

Технические характеристики:

• предельный диапазон измерений по осям XYZ: 500 мкм;
• разрешение по всем трем осям (не хуже): 0,01 нм;
• уровень собственных шумов интерферометра, СКО в полосе частот от 1 Гц до 1 кГц (не более):1 нм;
• неортогональность осей измерения перемещений: 0,01 радиана;
• диапазон измеряемых сдвигов фаз: ±1×104 радиан;
• разрешение системы измерения сдвига фазы:10-4 радиан;
• временное разрешение измерений:1 мс;
• максимальная скорость сканирования:100 мкм/сек;
• тепловыделение в рабочей области (не более) 5 Вт.